◆ 超精密全自動(dòng)測(cè)量，四軸CNC控制；

◆ 精密花崗巖機(jī)臺(tái)，精度高，穩(wěn)定性好；

◆ 三軸THK精密線(xiàn)性滑軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng)；

◆ Renishaw開(kāi)放式光柵尺，精度高、穩(wěn)定性好；

◆ 進(jìn)口自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變倍測(cè)量；

◆ 可程控6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；

◆ 自動(dòng)對(duì)焦測(cè)高，可加裝接觸式測(cè)頭；

◆ 提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、432、542等。

型號(hào)

VMU222

VMU322

VMU432

VMU542

行程(mm)

200×200×200

300×200×200

400×300×200

500×400×200

外部尺寸(mm)

1040×740×1620

1040×740×1620

1240×800×1620

1440×1000×1620

重量(kg)

240

250

310

400

承重(kg)

25

25

25

25

測(cè)量精度

XY軸*

E2=(2.0+L/300)µm

E2=(2.5+L/300)µm

Z軸**

E1=(5.0+L/200)µm

速度

XY軸

200mm/S

Z軸

100mm/S

光柵尺

Renishaw光柵尺

CCD

 1/2"CCD 黑白/彩色

光源

輪廓光

LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)

表面光

6環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段獨(dú)立操控，256級(jí)亮度可調(diào)

同軸光

LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)

光學(xué)系統(tǒng)***

 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326

軟件

Vispec測(cè)量軟件

運(yùn)動(dòng)控制

自主的CNC直流伺服系統(tǒng)

保修期

1年

工作環(huán)境

溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80%

振動(dòng)<0.002g，低于15Hz

電源

220V/50Hz/10A

^*   L表示測(cè)量長(zhǎng)度，以毫米為單位。

^**  Z軸的機(jī)械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關(guān)系。

^*** 放大倍率為近似值，具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關(guān)。